Мухитдинов Д.З.

  Использование: способы создания высокочувствительных фотодетекторов в ИК- и видимой области спектра излучения. Сущность изобретения: получают компенсированный кремний и приповерхностный слой с силицидом марганца при диффузионном циклически легированном марганце p-типа кремния марки КДБ-10. Удаляют силицидный слой с пяти граней параллелепипеда и на оставшейся грани создают многослойную ст...