Макаренко Б.Н.

 Использование: относится к аналитическому приборостроению, использующему масс-спектрометрию вторичных частиц, распыляемых при ионном облучении поверхности, для элементного анализа материалов. Благодаря высокой чувствительности масс-спектрометрия распыляемых частиц широко применяется в электронной и химической промышленности. Сущность изобретения заключается в том, что помимо ионизации рас...