Трейгер Л.М.

  Использование: устранение прозрачных дефектов фотошаблонов в производстве полупроводниковых приборов, интегральных микросхем и устройств функциональной электроники. Сущность изобретения: в кювету с ретуширующей жидкостью вводят световод, освещающий фотошаблон со стороны маскирующего покрытия. После обнаружения дефектного участка в проходящем свете, излучаемом световодом, жидкость нагрева...

  Использование: создание многоуровневой коммутации интегральных микросхем в микроэлектронике. Сущность изобретения: на интегральную микросхему с проводниками первого уровня коммутации наносят полиимидную пленку для межслойной изоляции, загружают ее в реакционную камеру и облучают с лицевой стороны лазерным излучением УФ-диапазона с длиной волны 240 - 400 нм в присутствии газообразного сое...