Муленкова И.Ф.

 Использование: в микроэлектронике при герметизации плит и интегральных схем. Сущность изобретения: для получения поли-п-ксиленового покрытия на керамической поверхности активируют керамическую поверхность, имплантируя в нее ионы массой 1 - 40 а.е., дозой 61013 - 11015 ион/см2 , ускоренные до энергий 50 - 150 кэВ с последующим газофазным нанесением методом пиролитической полимеризации цикл...