Воротилов К.А.

 Использование: изобретение относится к технологи производства интегральных схем (ИС), в частности к технологии изготовления многоуровневой металлизации в ИС. Сущность изобретения: в способе на поверхность ИС с металлизацией наносят первый диэлектрический слой диоксида кремния. Затем наносят пленкообразующий раствор и путем его отжига при нагревании со стороны подложки образуют планаризующ...

 Использование: в электрохимическом синтезе твердых оксидных растворов. Сущность изобретения: продукт- растворы метил- или этилцеллозольватов титана и циркония. Выход по току 100%. Способ состоит в том, что аноды из циркония и титана подвергают последовательному или одновременному электрохимическому растворению при анодной поляризации с помощью постоянного тока в метил- или этилцеллозольве...