Чуховский Ф.Н.

  Использование: исследование дефектов структуры монокристаллов, может быть использована в электронной технике для неразрушающего контроля качества монокристаллических (в частности, полупроводниковых) материалов и изделий. Сущность изобретения: установка включает в себя блок телекамеры, содержащий люминесцентный экран-конвертор, оптическую систему с регулируемым увеличением и ПТТ-передающа...