Загрядский С.В.

  Использование: изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии термического окисления в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Устройство состоит из нагревателя и кварцевого реактора, расположенного внутри его. Реактор разделен на камеру окисления, расположенную в рабочей зоне нагревателя, и камеру сгорания, часть которой, снабженная трубкой дл...

 Использование: микроэлектронике, изготовление полупроводниковых приборов с высоким напряжением пробоя. Цель изобретения - экономия полупроводниковых материалов и повышение процента выхода годных в процессе производства полупроводниковых приборов с высоким напряжением пробоя путем уменьшения ширины и степени легирования периферийной области базы полупроводникового прибора без уменьшения ее...

 Использование: микроэлектроника, конструкция кассеты для групповой диффузионной обработки полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: кассета для групповой диффузионной обработки полупроводниковых пластин содержит основание, на внутренней поверхности которого продольно расположены ребра с пазами для размещения пластин, причем пазы в ребрах доходят до основания кассеты, а в основании...