Наянов В.И.

 Изобретение относится к акустике и акустоэлектронике, в частности к нанесению, диэлектрических и пьезоэлектрических пленок на поверхность подложки методом плазменно-реактивного распыления металлической мишени в вакууме. Цель изобретения - эффективность использования мишени. Это достигается тем, что устройство для напыления пленок в плазме содержит магнетронный распылитель с катодом-мишень...

  Использование: в акустике и акустикоэлектронике, в частности в области нанесения диэлектрических и пьезоэлектрических пленок на поверхность подложки методом плазменно-реактивного распыления металлической мишени в вакууме. Сущность изобретения: способ включает катодное распыление в кислородной среде в постоянном электрическом поле в межэлектродном пространстве, при температуре максимально...