Кожевников Алексей Иванович

  Использование: изобретение относится к нанесению покрытий в вакууме и может быть применено для транспортировки подложки в вакуумной установке. Сущность изобретения: прижим-фиксатор выполнен в виде подвижной планки с пружиной сжатия, один торец которой связан с подвижной планкой, а другой - с направляющей планкой, в которой выполнено резьбовое отверстие и установлен винт, связанный с корп...

 Изобретение относится к области нанесения покрытий в экологически чистых вакуумных технологических установках. Задачей изобретения является получение слоев покрытия по выбранному закону распределения толщин для подложек любой объемной формы при одновременном и независимом вращении подложки по трем координатным осям, а также улучшение состава остаточной газовой среды. Для этого механизм вр...