Захаров В.Р.

 Использование: производство микросхем ВЧ- и СВЧ-диапазонов в микроэлектронике. Сущность изобретения: способ включает очистку подложки в органическом растворителе, ее обработку в тлеющем разряде и последовательное нанесение на подложку адгезионного покрытия в две стадии и основного слоя металлизации. Нанесение адгезионного слоя путем разложения металлоорганического соединения в плазме ВЧ-р...