Михайлов М.Д.

 Использование: светочувствительные материалы, используемые в технологии изготовления рельефных структур. Сущность изобретения: светочувствительный материал состоит из подложки, слоя - источника серебра и расположенного на нем аморфного слоя. Слой - источник серебра выполнен из халькогенидного сплава, содержащего 5 - 67 ат.% серебра. Повышается механическая стабильность материала. 2 ил. Из...

 Использование: для травления слоев в оптико-электронном приборостроении в процессе формирования многослойных тонкоплечных структур при изготовлении матричных фотоприемников. Сущность изобретения: травильный раствор содержит хлороводород, уксусную кислоту и воду и может быть применен для травления диэлектрических слоев на полупроводниковой подложке через фоторезистивную маску. Состав раств...