Таширова С.Л.

 Изобретение относится к измерительной технике, в частности к установкам зондового контроля структур микроэлектроники. Сущность изобретения: устройство для контроля полупроводниковых структур содержит микроскоп, привод, зондовую головку, предметный столик и криостат. Криостат выполнен в виде сообщающихся между собой двух теплоизолированных камер, в первой из которых расположен нагреватель,...