Дьяков Ю.Н.

 Сущность изобретения: при изготовлении интегральной схемы ориентацию кристалла с выступами основания пресс-формы осуществляют по базовым элементам выводной рамки. Фиксацию кристалла ведут при давлении, не превышающем давление прессования. При заливке кристалла формируют в подложке-носителе конусные отверстия для соединения с крепежными концами выводной рамки. Очистку заготовки ведут плазм...

  Назначение: технология микроэлектроники. Сущность изобретения: экспонирование слоя электронорезиста (ЭР) на подложке осуществляют электронным лучом произвольного сечения серией электронных штампов (Ш) за несколько циклов. Набор оптимальной фазы облучения осуществляется малыми порциями при высокой плотности тока луча и обеспечении достаточного для остывания ЭР, используется для облучения...

 Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в конструкциях полупроводниковых приборов. Цель изобретения - повышение надежности. Интегральная микросхема содержит кристалл 1, площадки 2, проводники 3, 4, 5 с наружными участками 6 и 7, корпус 8 с углублениями 10. Использование микросхемы позволяет обеспечить ее автоматизированный монтаж. 2 з.п. ф-лы, 2 ил. Изобретение...