Паршиков А.П.

  Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме или "чистых" технологических средах, а именно к шлюзовым устройствам. Цель изобретения - подача в вакуумную камеру материалов с возможностью их дозировки. Цель достигается тем, что в шлюзовом устройстве согласно изобретению внутри каждого гнезда установлен шток с поршнем, который герметизирован с ротором посредством сильфона, а...