Нечаева Г.Ю.

  Использование: в полупроводниковой технике для плазмохимического нанесения покрытий, а также в качестве исходных продуктов при синтезе сложных элементоорганических соединений. Способ получения бис(триметилсилил)аминотриалкоксигермания ф-лы: (R)3GeN[Si(CH3)3]2 , где R-низший алкил, заключается во триметилсилиламинировании соответствующего триалкоксигерманийпроизводного гексаметилдисилазан...

 Сущность изобретения: продукт- (CH3)3Si-O-Si(CH3)3 Б.Ф. C6H18OSi2 ; Выход 97% . Реагент 1: (CH3)3Si-NH-Si(CH3)3 . Реагент 2: HCl, H2O . Условия реакции: pH 6 - 7; pH 4,5 - 5,5, при 75 - 90°С. Изобретение относится к способам получения кремнийорганических соединений, в частности к способам получения гексаметилдисилоксана, и может быть применено в основном производственном процессе синтеза...

  Использование: диэлектрические покрытия на полупроводниковых структурах, керамических и стеклянных пластинах в радиоэлектронике. Сущность: получают пленкообразующий раствор взаимодействием смеси тетраалкоксисилана и триалкилалкоксисилана общей формулы, R3(R1O)Si где R,R Me, Et, uso Pr, h-Pr в водно-органической среде в отсутствии или присутствии 0,01-0,05 моль на 1 моль смеси силанов кис...