Климентович Валентин Александрович[UA]

 Использование: в микроэлектронике, в частности, в технологии изготовления сверхбольших интегральных схем. Сущность: острийный электрод перемещают вдоль подложки, подложку покрывают алмазоподобной пленкой, а на острийный электрод подают импульсное напряжение отрицательной полярности. Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к технологии изготовления сверхбольших интегральных с...