Якунин В.Г.

 Использование: область производства микроэлектронных приборов. Сущность изобретения: плазмохимический реактор баррельного типа, включающий вакуумную разрядную камеру, образованную цилиндрическим диэлектрическим корпусом и двумя заземленными металлическими крышками с диэлектрическим покрытием, установленными на его торцах и выполняющими роль электродов. Через неоткрываемую крышку в камеру...