Хохлов Александр Евгеньевич[BY]

  Использование: нанесение покрытий в вакууме, в частности получение тонких пленок. Цель : повышение производительности устройства. Сущность изобретения: в устройстве между распыляемой мишенью и охлаждаемым основанием установлено уплотнение из теплопроводящего материала. Охлаждаемое основание снабжено кольцевым пазом и кольцевым выступом. Размеры и форма уплотнения, выступа и паза идентичн...