Богдановский Юрий Николаевич[UA]

  Использование: способ изготовления источников для диффузии фосфора в полупроводниковой электронике. Сущность изобретения: способ включает приготовление диффузянта на основе порошка метафосфата алюминия путем добавления к нему порошка пирофосфата циркония в количестве 30 - 50 мас.%, выдержки его при температуре 1040 - 1120°С в течение 20 - 120 мин и охлаждения до комнатной температуры, на...