Хлебников Ю.И.

  Применение: относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем. Сущность: устройство содержит источник питания излучателя, задатчик температуры пластин, коммутирующее устройство, переключатель, датчик температуры, усилитель, высоковольтный источник постоянного напряжения, рабочую камеру с излучателем некогерентного излуч...