Егорова М.Ф.

 Использование: в устройствах для очистки газов от примесей и в полупроводниковых производствах для очистки технологических газов от водорода, паров хлоридов металлов, хлористого водорода и т.п. примесей. Сущность изобретения: скруббер, содержащий входной 2 и выпускной 3 патрубки, форсунку 5, нейтрализатор 4 и влагоотделитель 6, снабжен установленным между влагоотделителем 6 и выпускным па...