Ходаковский Н.И.[UA]

  Использование: технология микроэлектроники и может быть использован для изготовления матричных эмиттеров электронов и матричных индикационных устройств. Сущность изобретения: нагревают материал подложки электронным пучком до появления расплава и формируют острийный катод с помощью электрического поля. Изобретение относится к технологии микроэлектроники, в частности к технологии производс...