Фетисов И.К.

 (19)SU(11)1220502(13)A1(51)  МПК 6    H01H39/00(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.01.2013 - прекратил действиеПошлина: (54) ВЗРЫВОМАГНИТНЫЙ ФОРМИРОВАТЕЛЬ ИМПУЛЬСА ТОКА Изобретение относится к области электротехники, а именно к устройству взрывомагнитных формирователей мощных импульсов тока, предназначенных, например, дл...

 Взрывной размыкатель электрической цепи, содержащий разрушаемый проводник, по разные стороны от которого расположены заряд взрывчатого вещества с системой инициирования и диэлектрическая подложка, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия, на поверхности заряда взрывчатого вещества, обращенной к разрушаемому проводнику, выполнены выемки с шириной основания, равной ширине выс...

 Взрывомагнитный генератор, содержащий спиральную катушку, расположенную соосно внутри нее и заполненную взрывчатым веществом цилиндрическую металлическую трубу с коническим участком, причем большее основание конуса обращено в сторону нагрузки, систему инициирования и источник тока, отличающийся тем, что, с целью повышения мощности, стенка конического участка трубы выполнена с переменной т...

  Использование: в способе плазменного травления тонких пленок, применяемом в технологии производства изделий электронной техники БИС и СБИС для повышения производительности прецизионного травления путем увеличения скорости травления за счет повышения плотности ионного и нейтрального потока химически активных частиц. Сущность изобретения: способ включает загрузку подложек со сформированием...