Бойцов С.К.

 Использование: в микроэлектронике для формирования изображения топологии слоев при изготовлении интегральных схем. Сущность изобретения: в известное устройство введены фазовый оптический модулятор света, оптический делитель и матрица фотоприемников, причем фазовый оптический модулятор света установлен между лазером и осветительной системой, оптический делитель установлен так, что на одном...