Сущеня Геннадий Владимирович[BY]

 Использование: в электронно-лучевой технологии, в частности, для электронно-лучевой термообработки структур на полупроводниковых и диэлектрических подложках. Сущность изобретения: устройство содержит электронно-лучевую пушку 1, управляемый блок 2 питания накала, входом соединенный с выходом усилителя 3 накала, вход которого соединен с вторым выходом измерителя 4 тока и входом усилителя 5,...