Семакин В.Л.

  Использование: микроэлектронные устройства на карбиде кремния, включающие активные приборы с барьером Шоттки. Сущность изобретения: выпрямляющие контакты Шоттки изготавляются путем отжига предварительно химически очищенного кристала или кристаллического слоя карбида кремния в вакууме при температурах от 600 до 800°С в течение времени от 10 до 30 мин. В качестве материала контакта использ...