Белый В.К.

  Использование: в микроэлектронике, для травления функциональных слоев нитрида и двуокиси кремния, тугоплавких металлов и других материалов. Сущность изобретения: способ плазмохимического травления включает размещение обрабатываемого образца на электроде-подложкодержателе в реакционной камере, покрытие по крайней мере части рабочих элементов реакционной камеры галогенсодержащим твердым ве...