Аболихин В.В.

  Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при изготовлении миниатюрных гибридных интегральных микросхем повышенной степени надежности НЧ и ВЧ диапазонов в металлостеклянных корпусах, герметизируемых лазерной сваркой. Сущность изобретения: корпус вакуумируют в камере до 10-2-10-4 мм рт.ст., промывают камеру инертным газом, повторно вакуумируют до 10-2-10-4 мм р...