Выборнова Л.Н.

 Использование: в технологии изготовления изоляционных, буферных и ориентирующих слоев на кремнии, сапфире, алюминии и др. Сущность изобретения: способ включает воздействие на подложку с пленкой потоком низкотемпературной плазмы атмосферного давления, причем мощность, расход газа и длительность нахождения подложки с пленкой в зоне потока выбирают исходя из заданных соотношений. Изобретение...