Гуденко Б.В.

 Использование: в микроэлектронике. Сущность изобретения: показатель преломления измеряют при нормальных условиях. Дополнительно измеряют показатель преломления при нагреве структуры до температуры 350 - 400 К и выдержке при этой температуре в течение 30 - 40 мин. Бездефектной считают пленку, у которой показатель преломления не изменяется. 2 табл. Изобретение относится к неразрушающим спос...

  Использование: в микроэлектронике для производства полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: проводят обработку структур кремний-пленка диоксида кремния с помощью гидростатистического давления 600 - 800 МПа в течение (7-9)103c. Давление поднимают периодически со скоростью 5 - 10 МПа/с, а сбрасывают его до атмосферного с убывающей скоростью, определяемой уравнением v = vo-(n-1)v,...