Филичкина Т.В.

 Использование: микроэлектроника, может применяться в технологии изготовления полупроводниковых интегральных измерителей давления. Изобретение направлено на повышение твердости промежуточного стеклянного опорного элемента при его скреплении с основанием, выполненным из ковара с последующей шлифовкой, полировкой опорного элемента и прикреплением кремневой диафрагмы с терморезисторами к стек...