Швецова Е.П.

 Использование: в металлогалогенных лампах для фотолитографических процессов. Сущность изобретения: металлогалогенная лампа содержит горелку из кварцевого стекла с герметично установленными электродами. Горелка наполнена ртутью, галлием, свинцом, алюминием, магнием и йодом при следующих молярных концентрациях металлических ингредиентов наполнения в объеме горелки, мкмоль/см3 : ртуть 5,9 -...