Щетинин А.Г.

 Применение: для измерения токов или напряжений с использованием их преобразования в частоту электрического сигнала и измерением этой частоты. Сущность изобретения: устройство выполнено в виде многослойной структуры, состоящей из полупроводниковой подложки 1, диэлектрического слоя 4, затворного 5 и земляного 7 металлических электродов. На полупроводниковой подложке 1 расположен высокоомный...