Карпов Евгений Семенович[UA]

 Использование: получение тонкой бериллиевой фольги в вакууме. Сущность изобретения: в способе изготовления тонкой бериллиевой фольги для увеличения выхода годных, осаждение паров бериллия прерывают после образования слоя толщиной 0,5 - 5,0 мкм и формируют слои из окиси бериллия толщиной 2,0 - 10,0 нм. Изобретение относится к технологии получения тонких фольг. Тонкие бериллиевые фольги нео...