Лясковский И.И.

  (1 9 ) Q l (1 ) (Я) ЯЯ СОЮЗ CObETCR3KX социллистичкских РкСпжпп госудАРствкннок пАткнтнок ВКДОМСТЗО СССР (ГОСПАТКНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕ К ПАТЕНТУ 1 (21) 3234182/25 (22) 06.0181 (46) 15.1293 Бюл. Ne 45-.46 (71) Научно-исследовательский институт мехаеаа и физики при Саратовском государствееюм университете имНГЧернышевского (72) Биленко ДИ„Лясковский И.И (73) НИИ механеи...

  Изобретение относится к измерительной технике , конкретнее к бесконтактным способам определения температуры твердых вещеав, и может быть использовано при проведении разпичных термических процессов над попупросодниковыми структурами. 8 частности на основе кремния и соединений типа А В . Цель изобретения - попышение точности. Сущность изобретения заключается в том. что регистрируют...

 Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля формирования структур с полупроводниковыми, диэлектрическими и металлическими слоями в микроэлектронном производстве. Целью изобретения является повышение точности определения толщины и оптических свойств слоев. Устройство содержит блок, с закрепленным в нем источником излучения светоделительным зеркалом,...