PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Лобачев Ю.А.

Изобретатель Лобачев Ю.А. является автором следующих патентов:

Способ получения газовой смеси, содержащей арсин или фосфин, и устройство для его осуществления

Способ получения газовой смеси, содержащей арсин или фосфин, и устройство для его осуществления

  Использование: в микроэлектронике, волоконной оптике. Соединение мышьяка с металлами в виде гранул засыпают в реакционную колонку, через которую пропускают газ - носитель (например, водород), предварительно насыщенный водяным паром в термостате с сосудом увлажнителем, причем газ - носитель насыщают водяным паром до концентрации, отвечающей равновесному состоянию, а концентрация гидрида м...

2036832