Ахмедов В.Ю.

  Использование: в электронной и радиотехнической отраслях промышленности. Сущность изобретения: устройство содержит реактор с вакуумной системой откачки и рабочей камерой с размещенными в ней емкостной системой возбуждения ВЧ-разряда и карасульным держателем, имеющим установленное на валу вращения кольцо, по периферии которого расположены стержневые опоры для колпачков, снабжено каналами...

 Изобретение относится к вакуумной электронной промышленности и предназначено для напыления тонких пленок, например резист-сплава типа РС-3710, ванадия, меди, никеля с использованием магнетронного эффекта. Сущность изобретения: устройство для осаждения тонких пленок представляет собой вакуумную камеру с входным и выходным отверстиями для рабочего газа, содержащую подложку, магнетронный ист...