Петрик В.Ф.
Изобретатель Петрик В.Ф. является автором следующих патентов:
Способ управления процессом выращивания монокристаллов из расплава и устройство для его осуществления
Использование: изобретение относится к производству для управления процессом выращивания монокристаллов из расплава по методу "Чохральского" и может быть использовано в полупроводниковом производстве, для получения монокристаллических слитков германия. Устройство состоит из вертикального штока, на котором закреплен выращиваемый монокристалл, тигля с расплавом, регулятора мощности, нагрева...
2128250Способ управления процессом выращивания монокристаллов из расплава и устройство для его осуществления
Изобретение может быть использовано в полупроводниковом производстве для получения монокристаллических слитков германия. Сущность изобретения: устройство (фиг. 1) представляет собой микропроцессорную систему управления по выращиванию монокристаллических слитков германия по методу "Чохральского", на базе микроЭВМ 7, под управлением которой (в камере 12) производится выращивание монокристал...
2184803