Аглиулов Н.Х.

 Способ очистки летучих гидридов, включающий ректификацию в колонне со средним резервуаром и отбор сконденсированных примесей при программированном изменении температуры испарителя, отличающийся тем, что, с целью увеличения степени очистки гидридов, температуру испарителя понижают от температуры конденсации наиболее высококипящей примеси до температуры кипения гидрида со скоростью 5-20 гра...

 Изобретение относится к способам получения фильтров из двуокиси кремния для очистки газов и жидкостей от взвешенных частиц субмикронных размеров, применяемых при получении высокочистых материалов для полупроводниковой техники, волоконных световодов, и позволяет повысить производительность фильтров за счет увеличения их пористости, и эффективность очистки за счет сокращения размеров пор. В...