Верещагин Д.В.

  Изобретение может быть использовано в технологии производства электронных приборов. Цель изобретения заключается в очистке плазменного потока от микро- и макрокапель, а также нейтральных частиц, наличие которых снижает качество формируемого покрытия, тем самым сужая область применения данной технологии. Цель достигается за счет использования сепаратора, расположенного в рабочем объеме на...