Бухалов Л.Л.

  Использование: для контроля параметров полупроводниковых материалов и структур. Сущность изобретения: устройство предназначено для измерения сопротивления структур, представляющих собой проводящий слой, расположенный на непроводящей подложке, посредством включения образца в колебательный контур, настраиваемый в резонанс. Электроды устройства выполнены плоскими с кольцевыми зазорами между...