Быкова Н.Г.

  Изобретение относится к методам химического газофазного осаждения покрытий, в частности в струе термической плазмы. В способе для осаждения алмазного покрытия используют в качестве газа-носителя воздух, а углеводород добавляют в область взаимодействия струи с подложкой. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. Изобретение относится к методам химического газофазного осаждения покрытий, в частности к использова...