PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Шмелев Н.И.

Изобретатель Шмелев Н.И. является автором следующих патентов:

Способ химико-динамической обработки пластин арсенида галлия

Способ химико-динамической обработки пластин арсенида галлия

  Использование: микроэлектроника, финитная обработка пластин арсенида галлия после химико-механической полировки для удаления нарушенного слоя и последующей консервации поверхности. Сущность изобретения: при химико-динамической обработке пластин арсенида галлия пластины размещают на вращающемся держателе соосно с осью вращения, травление пластин проводят подавая реактив струей, направленн...

2045108