Шмелев Н.И.
Изобретатель Шмелев Н.И. является автором следующих патентов:

Способ химико-динамической обработки пластин арсенида галлия
Использование: микроэлектроника, финитная обработка пластин арсенида галлия после химико-механической полировки для удаления нарушенного слоя и последующей консервации поверхности. Сущность изобретения: при химико-динамической обработке пластин арсенида галлия пластины размещают на вращающемся держателе соосно с осью вращения, травление пластин проводят подавая реактив струей, направленн...
2045108