Бутенко П.С.

  Использование: в полупроводниковой технике. Сущность изобретения: устройство для контроля качества полупроводниковых структур содержит контролируемую полупроводниковую структуру, оптическую систему, персональную ЭВМ и связанные с ней монитор и принтер. Устройство снабжено фотометрическим шаром, в боковых окнах которого размещены осветители, а также цифровой телекамерой, вход которой опти...