Зигель В.В.

 Изобретение относится к технологии изготовления фотоприемников на основе антимонида индия. Цель изобретения - повышение выхода годных фотодиодов, пробивных напряжений фотодиодов и их стабильности за счет формирования в анодной окисной пленке отрицательного стабильного встроенного заряда. С этой целью формирование окисной пленки на поверхности легированных р-областей антимонида индия n-тип...

 Использование: для травления слоев в оптико-электронном приборостроении в процессе формирования многослойных тонкоплечных структур при изготовлении матричных фотоприемников. Сущность изобретения: травильный раствор содержит хлороводород, уксусную кислоту и воду и может быть применен для травления диэлектрических слоев на полупроводниковой подложке через фоторезистивную маску. Состав раств...