Туркина Е.Ю.

 Фототермопластический материал, состоящий из последовательно расположенных электроизолирующей подложки, электропроводящего покрытия, инжекционного слоя на основе сплава селена с мышьяком и фототермопластического слоя, включающего поли-N-винилкарбазол и термопластический полимер, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности к длинноволновой части спектра и повышения термостаби...

 Использование: для травления слоев в оптико-электронном приборостроении в процессе формирования многослойных тонкоплечных структур при изготовлении матричных фотоприемников. Сущность изобретения: травильный раствор содержит хлороводород, уксусную кислоту и воду и может быть применен для травления диэлектрических слоев на полупроводниковой подложке через фоторезистивную маску. Состав раств...