Валиев К.А.

 Изобретение относится к области контроля сверхгладких поверхностей с манометровым уровнем шероховатости. Способ контроля шероховатости включает направление на исследуемую поверхность коллимированного пучка лучей рентгеновского излучения под углом скольжения = c-(c+0,4o), где c - критический угол, сканирование пучком рентгеновского излучения по исследуемой поверхности, измерение интенсивн...

 Изобретение может быть использовано в микро- и наноэлектронике. Сущность изобретения: при изготовлении полупроводникового прибора с Т-образной конфигурацией управляющего электрода с помощью оптической литографии используется субмикронная щель во вспомогательном слое диэлектрик-металл, которая создается за счет зазора между двумя маскирующими металлическими слоями, образующегося в результа...