PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Дудченок В.В.

Изобретатель Дудченок В.В. является автором следующих патентов:

Способ получения легированных монокристаллов кремния методом индукционной бестигельной зонной плавки и устройство для его осуществления

Способ получения легированных монокристаллов кремния методом индукционной бестигельной зонной плавки и устройство для его осуществления

 Изобретение относится к металлургии полупроводникового кремния и может быть использовано при получении легированных монокристаллов кремния методом индукционной бестигельной зонной плавки. Способ включает вакуумирование рабочей камеры, осушку ее атмосферы и оснастки. Затем проводят расплавление зоны исходного стержня кремния и вводят в нее легирующую добавку. Введение добавки ведут порциям...

2049164