Гумбин Вячеслав Валерьевич (RU)

Изобретение относится к области производства наноструктурных пленок с активным контролем и оптимизацией процесса их синтеза. Способ синтеза включает размещение в вакуумной камере изделия и контрольных образцов, нагрев и контроль их температуры и осаждение из испарителя металлического материала на изделии и контрольных образцах. При этом в процессе осаждения материала из вакуумной камеры поочередн...