КАШУБА Филип В. (US)

Устройство содержит интегральное устройство, имеющее участок поверхности с местной работой выхода; сканирующий зонд, подвешенный над интегральным устройством; оптический контроллер, выполненный с возможностью обнаружения разности фотонапряжений между интегральным устройством и сканирующим зондом; детектор сканирующего зонда, способный измерять перемещения сканирующего зонда под влиянием разности...